Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h. Bomba de vácuo turbo seca

As novas e potentes bombas de funcionamento a seco:
A série ADH é especialmente projetada para energia solar
desenvolvido para os exigentes processos dos mercados de semicondutores e LED,
Com uma capacidade de sucção de 600-4500 m3/h.

Semicondutores: Alta taxa de bombeamento de H2
O desempenho da série ADH traz as seguintes vantagens para o processo:
-Desempenho do processo ADL: alta eficiência de bombeamento de gases leves
Permite um esvaziamento mais rápido da câmara entre as etapas do processo
- Epitaxia e EUV: alta velocidade de bombeamento e alta vazão
A tolerância atende às especificações de processo mais exigentes

Bomba seca Adixen AD30K, alto vácuo, AD 30 KL
Fabricante: Alcatel Adixen
Tipo: AD30K. H
Ano de fabrico: 2008

Adixen AD100K. H
Fabricante: Alcatel Adixen
Tipo: AD100K. H
Ano de fabrico: 2008

Bomba de vácuo:
Fabricante: AERZEN
Tipo: GM 2000 CM-C
Velocidade: 6000 rpm
Tensão: 200-460 V
Frequência (óleo mineral/óleo PFPE): 100 c/s
Capacidade máxima de sucção: 4035 m3/h
Velocidade máxima: 5920 rpm
Potência do motor S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Ano de fabrico: 2008
Peso: 345 kg
Bomba seca:
Fabricante: Adixen
Tipo: BF ADP122
Ano de fabrico: 2008
Potência 1,5 kW
Capacidade máxima de sucção: 95 m3/h
Pressão de entrada contínua máxima: 50 mbar
Pressão máxima de escape: 1200 mbar
Água de refrigeração: 60 l/h
Velocidade (bomba): 3000-3600 rpm
Temperatura de funcionamento da bomba: de 5 C a 40 C
Flange de entrada: DN 50 ISO-KF
Flange de escape: DN 40